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簡(jiǎn)要描述:Model 6000 生產(chǎn)型掩膜曝光機(jī)由OAI設(shè)計(jì)與制造可用于半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、傳感器、優(yōu)良晶圓級(jí)封裝(WLP)、化合物半導(dǎo)體、發(fā)光二極管(LED)以及扇出型面板級(jí)封裝(Fanout PLP)。
產(chǎn)品型號(hào):
所屬分類:Model 6000 生產(chǎn)型掩膜曝光機(jī)
更新時(shí)間:2025-07-04
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

Model 6000 生產(chǎn)型掩膜曝光機(jī)
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楔效應(yīng)調(diào)平
工藝重復(fù)性
亞微米分辨率
遠(yuǎn)程診斷功能





紅外自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)
晶圓盒映射
紫外 LED 曝光光源
溫控晶圓卡盤
集成掩模管理控制
集成光刻集群用于完整光刻流程
帶 SMIF 或 FOUP 接口模塊的工藝環(huán)境控制
非接觸式調(diào)平
邊緣夾持
激光間隙測(cè)量