Model 32 UV LED 光源

OAI 推出第二代紫外發(fā)光二極管（UV LED）光源。我們?nèi)碌?LED 光源系列秉持著與久負(fù)盛名的汞弧光源相同的質(zhì)量和性能標(biāo)準(zhǔn)打造，同時(shí)具備固態(tài)技術(shù)與生俱來(lái)的優(yōu)勢(shì)。我們的紫外 LED 光源系列可應(yīng)用于光刻、固化、微流體以及生物醫(yī)學(xué)激活等領(lǐng)域。該全新光源系列可集成到原始設(shè)備制造商（OEM）的應(yīng)用中，與 OAI 掩模對(duì)準(zhǔn)器配合使用，改裝到傳統(tǒng)掩模對(duì)準(zhǔn)器上，或作為獨(dú)立曝光工具購(gòu)置 。

LED 光源相較于傳統(tǒng)汞弧燈有幾個(gè)固有的優(yōu)勢(shì)。兩個(gè)明顯的主要優(yōu)勢(shì)是能耗和擁有成本。在進(jìn)行曝光的整個(gè)過(guò)程中，汞弧燈必須一直開(kāi)啟?？紤]到電源效率，1000 瓦的汞弧燈實(shí)際消耗的電量甚至超過(guò) 1000 瓦。在 8 小時(shí)的生產(chǎn)周期內(nèi)，燈可能要開(kāi)啟 9 個(gè)多小時(shí)，耗電量超過(guò) 9 千瓦時(shí)。相比之下，LED 光源（LED LS ）僅在工藝的實(shí)際曝光時(shí)間內(nèi)開(kāi)啟。例如，如果曝光時(shí)長(zhǎng)為 10 秒，且每分鐘曝光一次，那么在 8 小時(shí)的輪班中，總曝光時(shí)間將為 1.33 小時(shí)。以 1000 瓦功率計(jì)算，LED 光源的總耗電量?jī)H為 1.3 千瓦時(shí)，節(jié)能幅度超過(guò) 6 倍！

汞弧燈的第二個(gè)主要缺點(diǎn)是其使用壽命，這導(dǎo)致了更高的擁有成本。大多數(shù)汞弧燈使用約 1000 小時(shí)后就需要更換。更換燈時(shí)需要讓設(shè)備離線(xiàn)以進(jìn)行更換操作，進(jìn)一步增加了擁有成本。通常，還需要重新校準(zhǔn)強(qiáng)度控制回路，這可能會(huì)導(dǎo)致工藝波動(dòng)和產(chǎn)量損失。相比之下，LED 光源無(wú)需更換燈。LED 的使用壽命非常長(zhǎng)，且僅在實(shí)際曝光時(shí)間內(nèi)開(kāi)啟。這使得該光源在達(dá)到使用壽命前能夠進(jìn)行數(shù)百萬(wàn)次曝光 。

LED 光源設(shè)計(jì)相關(guān)要點(diǎn)

OAI LED 光源（LED LS）的設(shè)計(jì)確保了系統(tǒng)中單個(gè) LED 的自然老化不會(huì)影響光源輸出光束的質(zhì)量。光線(xiàn)從 LED 收集后，先經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直，再通過(guò)一組微透鏡實(shí)現(xiàn)光束均勻化。最終，光線(xiàn)被準(zhǔn)直為具有小發(fā)散角的高度均勻光束。這種設(shè)計(jì)能產(chǎn)生光束質(zhì)量，使 OAI LED 光源的用戶(hù)在接觸式和接近式光刻中實(shí)現(xiàn)最高性能。其界面是一個(gè)簡(jiǎn)單的觸摸屏，用戶(hù)可通過(guò)它控制光源的輸出功率，若是多波長(zhǎng)系統(tǒng)，還能控制所需波長(zhǎng)的比例 。

LED 光源的性能特點(diǎn)

OAI LED 光源具有優(yōu)異的性能特點(diǎn)。典型的輻照度均勻性為 ±3%，準(zhǔn)直角 < 2.5°。為實(shí)現(xiàn)精確且可重復(fù)的曝光，所有 OAI LED 光源均配備強(qiáng)度和劑量控制。典型 8 英寸方形 LED 光源的光束特性如下：強(qiáng)度分布具有平坦的空間均勻性，半高全寬輻射強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的準(zhǔn)直角為 1.8° 。

LED 光源配置

LED 光源（LS）的標(biāo)準(zhǔn)光束尺寸為 4 英寸方形、6 英寸方形、8 英寸圓形和 12 英寸方形。該系統(tǒng)可配置為單波長(zhǎng)或雙波長(zhǎng)模式，標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)包括 365nm、405nm 和 436nm—— 這些波長(zhǎng)均模擬了光刻膠優(yōu)化所基于的汞弧燈光譜，特殊波長(zhǎng)可按需定制。各標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)的光譜分布及相對(duì)積分功率如下所示。