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EM-KLEEN等離子體清洗機(jī)可用于電子顯微鏡和其他類型分析儀器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳?xì)浠衔锖头蓟衔镂廴疚铮岣邩O限真空水平，減少抽氣時(shí)間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面上的有機(jī)污染物。該系統(tǒng)包括一個(gè)電阻式液晶觸摸屏控制器與嵌入式微計(jì)算機(jī)和遠(yuǎn)程等離子體源。應(yīng)在待清潔的真空室上安裝遠(yuǎn)
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