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關(guān)于Semi-KLEEN Sapphire藍寶石等離子體清洗機 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比，我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。

關(guān)于Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子體清洗機基于勞倫斯伯克利國家實驗室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比，我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進一步提高了等離子體強度多達 3 倍。

EM-KLEEN等離子體清洗機可用于電子顯微鏡和其他類型分析儀器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳氫化合物和氟碳化合物污染物，提高極限真空水平，減少抽氣時間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面上的有機污染物。該系統(tǒng)包括一個電阻式液晶觸摸屏控制器與嵌入式微計算機和遠程等離子體源。應(yīng)在待清潔的真空室上安裝遠

Tergeo-EM TEM/SEM 等離子體清洗機專為研究、開發(fā)和小批量生產(chǎn)而量身定制。在表面清洗、活化、有機污染物去除、粘合增強和光刻膠灰化方面表現(xiàn)出色。其精度和多功能性使其成為納米技術(shù)、材料科學(xué)、微加工和故障分析應(yīng)用的理想選擇。憑借免維護設(shè)計和低擁有成本，提供了長期價值。

Tergeo-Pro桌面等離子清洗機和蝕刻機專為研究、開發(fā)和小批量生產(chǎn)而量身定制。Tergeo系列桌面等離子清洗機在表面清洗、活化、有機污染物去除、粘合增強和光刻膠灰化方面表現(xiàn)出色。其精度和多功能性使其成為納米技術(shù)、材料科學(xué)、微加工和故障分析應(yīng)用的理想選擇。憑借免維護設(shè)計和低擁有成本，Tergeo 系統(tǒng)提供了長期價值。